1、因为楼主说是有多个专用设备，基于单一性的要求，每个专用设备不能分别构成一个产品独权和工艺构成的方法独权放在一个专利申请当中，如果想对每个专用设备都进行保护，专用设备只能是分开来申请。
2、如果工艺发明专利中的所有步骤都可以用现有设备实现，那么工艺发明的说明书中可以不对设备结构进行描述，如果有些步骤必须用专用设备才能实现，基于公开充分原则，工艺发明的说明书中必须对设备结构进行描述。
3、如果工艺发明中不需要记载专用设备的结构，那么专用设备专利什么时候提交都可以，不会互相影响。如果工艺发明说明书中记载了专用设备的结构，那么专用设备的专利不能晚于工艺发明的申请日提交，否则构成抵触申请，最好是同日申请。
4、本人以前也遇到过跟楼主类似的情况，有两种不同的处理方式：一、不考虑单一性问题，报一个发明专利，权利要求书涵盖了工艺方法独权，每个专用设备的独权，然后在实审的时候等审查员提出单一性问题再分案，如果审查员不提就不分案了，反正单一性也不是无效理由。二、同时报一个发明专利和若干新型，发明权利要求包括工艺方法的独权和由若干专用设备构成的系**权，每个专用设备再分别报一个新型，这个大方案的核心还是工艺方法，设备是次要的，新型足矣。
以上属于本人拙见，希望对楼主有帮助。

方法发明，权利要求只要步骤清楚，能解决技术问题就可以。到于要用到专用设备，无非是实现某个功能，在发明中完全可以用功能限定，这样就不存在因公开专用设备而缩小保护范围了。
设备可以单独申请